薄膜的形成過程是指形成穩(wěn)定核之后的過程；薄膜生長(zhǎng)模式是指薄膜形成的宏觀形式。薄膜的生長(zhǎng)模式大體上可分為三種:島狀生長(zhǎng)模式、層狀生長(zhǎng)模式和層島結(jié)合的生長(zhǎng)模式。

如圖所示：